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干涉儀

interferometer, fizeau interferometer

王安培
2003年10月
測繪學辭典

名詞解釋:

利用光波干涉現象以量測微小距離或長度或物體表面精度之裝置,其原理如圖所示。將入射光波被分光鏡分為二道互相垂直光束而分別投射於二個距離不同的面上,當該二束光被反射而再重疊為一時,會因其所行經之路徑長短不同而產生干涉條紋(如圖),依此條紋的粗細、條數可計算出前述兩個面間的微小距離差,通常為波長的倍數,常用的干涉儀有菲索(Fizeau)、邁克森(Michaelson)及柴門格林(Tuyman Gtrrn)干涉儀等型式。